三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學測量系統(tǒng)。

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5的突出特點：

一款*的3D光學測量儀

InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能。

萬能和高效

LED環(huán)形燈的設計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。

高分辨，高可重復性和可溯源

即使對于復雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率

高測量速度

InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。

模塊化和可擴展性

新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合

全自動

測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5的主要技術參數(shù)：

位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

樣品表面結(jié)構：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結(jié)構

zui大樣品高度：100mm ～ 345mm

zui大樣品重量：30kg

*水平分辨率：0.44µm

*垂直分辨率：10nm

zui大掃描高度：22.5mm

zui大擴展視野范圍：10000mm2

zui大單一方向掃描范圍：100mm

測量速度:170萬個測量點/秒

zui小測量高度：0.01µm

zui大測量高度：22.5mm

zui大測量范圍：10000mm2

zui大測量形貌長度：100mm

zui小可重復性：0.001µm

zui小測量粗糙度（Ra）：0.03µm

zui小測量粗糙度（Sa）：0.015µm

zui小測量半徑：1µm

zui小測量垂直角度：20°

zui大測量傾斜角度：87°

自動變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能

測量速度增加20倍

自動設置

適用更多材料及更復雜表面的測量

更穩(wěn)定，更精密的測量

測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量